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多功能物理气象沉积系统
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多源共蒸发沉积设备
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联系人:  李志强

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双区红外材料检测分析系统
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薄膜热导仪
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相位噪声分析仪
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飞秒激光微加工系统
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联系人:  潘婷

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离子束抛光仪
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联系人:  赵亚军

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多腔室磁控溅射薄膜太阳电池制备系统
多腔室磁控溅射薄膜太阳电池制备系统
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联系人:  于威

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卷绕式PECVD薄膜沉积系统
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联系人:  于威

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矢量网络分析仪
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联系人:  潘婷

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长波长光谱分析仪
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联系人:  潘婷

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室外光热二氧化碳催化系统
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光伏电催化制氢系统
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高真空电阻蒸发镀膜设备
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紫外光刻机
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