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多功能物理气象沉积系统
仪器编号
2019139305
规格
极限真空6×10-6Pa 样品尺寸50×50mm
生产厂家
沈阳奇汇真空技术有限公司
型号
QHV-RCT400C
制造国家
中国
分类号
放置地点
Array
出厂日期
2022-08-31
购置日期
2022-08-31
入网日期
2022-08-31
主要规格及技术指标
极限真空6×10-6Pa 样品尺寸50×50mm
主要功能及特色
蒸发镀膜，高真空，速率可控
主要附件及配置
蒸发室腔1台，内屏蔽腔1套，束源炉蒸发源2套，分子泵一台，机械泵一台，上位PC机一台，PLC系统一台，电控柜二套
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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