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脉冲激光沉积系统
仪器编号
2021324009
规格
大型仪器设备
生产厂家
NEOCERA
型号
P180
制造国家
美国
分类号
放置地点
Array204
出厂日期
2020-01-13
购置日期
2020-01-13
入网日期
2022-08-26
主要规格及技术指标
可同时安装六个靶，腔体内本底真空可达5×10-9Torr，基片可在真空或者1个大气压的氧气环境下加热至850℃，集成高压RHEED，CCS模块等。
主要功能及特色
脉冲激光照射靶材，靶表面材料被激光气化为高温高压等离子体，输运到待沉积衬底之上凝聚成核形成薄膜。属于利用物理气相沉积法
主要附件及配置
P180英寸基片系统、光学系统、预真空系统、高压RHEED、CCS连续组成扩展、Z轴自动升降
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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