主要规格及技术指标

定位检测噪声： 高度噪音Z<0.06nm，X,Y闭环噪音<0.5nm 样品尺寸： 直径<80mm，厚度<25mm 样品台移动范围： 200mm*200mm可视区域

主要功能及特色

轻敲模式
接触模式
相位成像模式
压电响应模式
双频共振追 踪压电响应模式
扫描开尔文显微镜
多频率高次谐波共振模式
静电力显微镜模式
表面电势显微镜模式
导电显微镜模式
扫描热显微镜

主要附件及配置

1.扫描器
(1)三轴分离的平 板式扫描器
(2)三个扫描轴 上都带有独立的LVDT闭环传感器
2.扫描头：包含光路元件，控制探针z方向移动
3.激光器
4.控制器：控制xyz三轴运动，收集数据
5.基座：含光学元件，CCD镜头等