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仪器详情
多功能原子层化学气相沉积设备
仪器编号
2022429209
规格
6英寸衬底，热和等离子体辅助ALD
生产厂家
元于科技（北京）有限公司
型号
YT-PEALD 150
制造国家
中国
分类号
03060302
放置地点
Array
出厂日期
2019-01-09
购置日期
2019-01-09
入网日期
2022-09-07
主要规格及技术指标
1）衬底尺寸：6英寸，样品高度：6 mm
2）基片温度：RT-200℃，控制精度±1℃
3）镀膜腔室：独立的气路和控制系统
4）前驱体输运系统管路具有独立加热系统
5）沉积模式：热ALD镀膜，等离子体辅助ALD镀膜，粉末镀膜
主要功能及特色
该设备为真空镀膜设备，可在不同固体基材上实现化学气相沉积镀膜，主要生长金属氧化物和金属单质
主要附件及配置
主机、真空系统、电脑及控制软件、等离子体发生器、控制器
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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