河北大学大型仪器共享管理系统

仪器分类

仪器设备 > 物理科学与技术学院 > 仪器详情

感应耦合等离子刻蚀机

感应耦合等离子刻蚀机

仪器编号

2022359309

规格

3.56MHz 500W，刻蚀速率0.1-4μm/min

生产厂家

北京创世威纳科技有限公司

型号

ICP-601

制造国家

中国

分类号

放置地点

Array科研楼110

出厂日期

2019-10-16

购置日期

2019-10-16

入网日期

2026-09-17

主要规格及技术指标

无

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无

公告名称	公告内容	发布日期