主要规格及技术指标

*1．溅射室极限真空度：6.6×10-6Pa（经烘烤除气后）。
*2．系统短时间暴露大气并充干燥氮气开始抽气：20分钟可达到8.0×10
4Pa。激光入射口到地面的距离为≥1200mm；
3．真空室为球形前开门，尺寸 Ф450，可内烘烤，选用优质不锈钢材料制
造。
*4．新型旋转靶台组件：1套，靶尺寸：≤φ50mm，≥4工位（可根据实际
尺寸定做过渡环）。每块靶材可实现自转，转速5～30转/分，连续可调，并显示
转速；靶位公转换位机构，PLC控制，编码器控制旋转精度，精度1°，可任意
角度控制定位；
*5．基片加热公自转台，基片尺寸：可放置1片直径2英寸基片；加热炉最
高温度≥800℃±1℃，由热电偶闭环反馈控制。
6．100SCCM（氧气）质量流量控制器。
7．脂润滑分子泵及变频控制电源：1台（抽速2000升/秒）；旋片真空泵：
1 台（抽速18升/秒）。
8．宽量程数显真空计：1套；电离规1个，电阻规1个：测量范围：1.0×
105Pa～1.0×10-7Pa。
9．薄膜规：1 套；0.1torr；（用于显示工艺气压，通过插板阀来调节工艺
气压）。
*10．系统采用自动操作控制方式，系统可兼容激光器控制，可控制激光器
控制模式，设定能量，设定高压，设定频率，设定计数。并能与PLD设备联动，
配备控制模块后实现全自动镀膜。
11．安装机台架组件1套：铝型材拼接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表
面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮，可固定，可移动，可升降10mm。
12．激光器台架组件1套：铝型材拼接成，快卸围板表面喷塑处理；机台表
面用不锈钢蒙皮装饰；四个脚轮，可固定，可移动，可升降 10mm，配合光路调
节。

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无