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仪器详情
多靶磁控溅射电极沉积系统
仪器编号
2016805702
规格
生产厂家
北京创世维纳
型号
MSP-300BT
制造国家
中国
分类号
B4107
放置地点
Array科研楼227
出厂日期
2014-07-09
购置日期
2014-07-09
入网日期
2026-07-06
主要规格及技术指标
2KW ,三靶，500℃；1*10(-4)Pa
主要功能及特色
常温、高温条件下均可沉积高质量、厚度精确可控制的金属单质及氧化物半导体、化合物等多种薄膜。
主要附件及配置
无
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