主要规格及技术指标

激光扫描缺陷成像仪是激光束感应电流（LBIC）测试的升级版本。 它利用波长能量大于半导体能隙的激光光束照射半导体，产生电子-电洞对。 透过快速扫描样品表面，获得揭示内部电流变化的影像分布，以分析各种缺陷分布。 这有助于分析样品制备的质量，并有助于制程改进。

主要功能及特色

1.扫描光生电流的分布 2.分析表面污染 3.扫描光电压的分布 4.分析短路区域的分布 5.扫描开路电压和短路电流的分布 6.识别和分析微裂纹区域 7.分析少数载子扩散长度的分布

主要附件及配置

无