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磁控溅射沉积系统
仪器编号
2019024506
规格
生产厂家
众谱
型号
CK-450
制造国家
中国
分类号
放置地点
Array综合科研楼317
出厂日期
2019-07-08
购置日期
2019-07-08
入网日期
2026-05-27
主要规格及技术指标
无
主要功能及特色
CK-450型三靶磁控溅射仪适用于6英寸及以下尺寸的基片镀膜，可溅射材料包括金属（如 Ti、Pt、Ag、Cu、Al等）、氧化物（如 ITO、ZnO、TiO₂等）、氮化物（如TiN、NbNₓ）及其他化合物薄膜。
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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