仪器分类
高低温真空探针台
高低温真空探针台
仪器编号
规格
2inch chuck with+-5 micron flatness X-Y-Z Traverl 60mm-25mm-13mm
生产厂家
深圳市森美协尔科技有限公司
型号
SCG-C-2
制造国家
分类号
放置地点
Array
出厂日期
2024-12-25
购置日期
2024-12-25
入网日期
2026-03-27

主要规格及技术指标

1.直径为10英寸的真空腔体,带2英寸高红外透射率观察窗
2.直径为7英寸的防辐射屏腔体,带4英寸低红外光,高可见光透射防辐射窗和屏蔽帘
3.直径为2英寸的样品台,平整度5微米
4.带两个弹片式样品夹
5.六个探针臂接口,可以安装六个探针/光纤臂
6.一个KF40真空抽气口,一个快速破真空进气口
7.一个16pin电信接口法兰,一个电信备用接口法兰
8.一级冷头用于辐射屏制冷
9.KF 法兰接口,系统极限真空优于 5*10^-4 Pa(配置250L/s分子泵时)
10.漏率优于:1.3*10^-10Pa.M3/s
11.常温降温至5K的时间优于:180mins
12.温度稳定性优于:+/- 100 mK

主要功能及特色

1.低温真空探针台可以对样品进行无破坏性实验。可以进行:电,光电,磁光,和磁光电的变温测量,DC, RF测量等。
2.可以测量下述材料:
纳米电子材料(碳纳米管、晶体管、单个电子晶体管、分子电子材料、纳米线),量子线、点、量子隧道,单个电子隧道, 基础半导体器件、LEDs、稀磁半导体,有机光电子材料等

主要附件及配置

公告名称 公告内容 发布日期