主要规格及技术指标

籽晶杆升降（1-100mm/h），能够实现氧化镓晶体生长条件，提供热场结构、晶体生长技术。
根据氧化镓单晶炉图纸，进行热场设计，加工铱热场零件，包括铱损耗、用量的确定以加工来确定

主要功能及特色

氧化镓在2022年8月被美国实现全面禁运，是国家国防军工必备材料。
设备用于开展第四代半导体材料氧化镓晶体生长研究。需配置用于开展导模法氧化镓晶体生长所需的贵金属铱热场结构

主要附件及配置

无