主要规格及技术指标

同时具备热式、等离子体式两种功能；最大6英寸样品，基底加热温度RT-500 ℃可控；共4路前驱体源，1路为常温源，3路为加热源，加热温度RT-200 ℃可控；配备高浓度臭氧发生器，微波等离子体发生器系统，全自动控制软件。

主要功能及特色

用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，主要应用于半导体器件、OLED、玻璃强化、太阳能电池钝化层、微米纳米颗粒功能性包裹、银器的防氧化处理、高精度光学玻璃镀膜和锂电池等。

主要附件及配置

臭氧发生器，微波等离子体发生器，真空机械泵