主要规格及技术指标

1.1 真空泵：隔膜泵+涡轮分子泵（67I/s），无油真空系统
1.2 极限真空度：≤2×10⁶mbar
1.3 样品仓尺寸：宽：200mm，深：150mm，高：195mm
1.4三方向电动马达驱动样品台：可旋转，可倾斜，可调节工作距离1.5 标配内置QSG石英膜厚监控器，检测精度：0.1nm
1.6 样品台直径：104mm，带24孔，可插入24个SEM标准样品台

主要功能及特色

设备镀膜靶源采用倾角式设计，可同时配置两种不同耙头于样品仓，不破真空即可实现混合镀膜，具有104mm直径大面样品，同时完成24个样品的镀膜工作。标配石英膜厚监控器，可根据设定膜厚自动终止镀膜，实现镀膜厚度的精确控制，控制精度0.1nm，是一款高精度、高稳定性的全自动化设备。

主要附件及配置

辉光放电附件、三轴马达样品台