主要规格及技术指标

沉积室组件 1 和真空室组件 2 和真空室组件 3三个真空室抽真空，真空度分别达到：极限真空度 1： 5x10-6Pa；极限真空度 2： 6x10-4Pa；极限真空度 3：5x10-6Pa。样品加热：真空室 1 的加热温度 1000℃，真空室2 的加热温度 800℃。

主要功能及特色

无

主要附件及配置

无