主要规格及技术指标

6寸镀金Chunk，中心真空吸孔1mm，X-Y移动152*152mm，最小移动1um，Z行程10mm，0-360度，卡盘平整度5um，线性移动精度1um，配置GGB精密探针，1920*1080像素高清相机，变焦镜头0.7-4.5倍。

主要功能及特色

可以用于微米线、二维材料纳米片、纳米阵列等光电器件的测试和分析。

主要附件及配置

光电耦合模块，偏振光电流模块，模拟扫描模块，金相物镜组