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薄膜CVD与PVD法制备设备
仪器编号
2017695800
规格
6.0*10-5Pa样品10cm*10cm，380V13KW
生产厂家
沈阳奇汇真空技术有限公司
型号
QHV-PCVD400C2
制造国家
中国
分类号
放置地点
Array科研楼123
出厂日期
2015-07-31
购置日期
2015-07-31
入网日期
2025-06-12
主要规格及技术指标
6.0*10-5Pa样品10cm*10cm，380V13KW
主要功能及特色
无
主要附件及配置
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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