主要规格及技术指标

X射线管：Rh靶，功率50W，电压范围4-50kV，电流范围1-1000μA。
冷却方式：风冷
检测器：高性能SDD检测器，分辨率小于130 eV。
分析元素范围：C到U。
光阑自动切换系统：有1mm、3mm、5mm、10mm四种光阑可自动切换。

主要功能及特色

定性分析：配备自动检测和解析软件。
定量分析：可采用标准工作曲线法、块体FP法和薄膜FP法，薄膜FP法最多可测10层膜厚和100个元素成分。背景FP法能显著提高微量样品的分析精度。
微区分析：结合CCD观察单元和四种光阑自动切换系统，可对微小区域进行分析。
异物分析：具备异物分析功能。
样品形态适应性强：可分析固体、液体、粉体等不同形态的样品。

主要附件及配置

主机、X射线管、SDD检测器、样品室、四种光阑自动切换系统、CCD观察单元等