主要规格及技术指标

倍率：×10～×100,000（照片倍率）; ×25～×250,000（显示器倍率）
加速电压：5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
图像信号：背散射电子；二次电子；复合图像（背散射电子+二次电子）
真空模式：导电体（仅背散射电子）；标准；荷电减轻
样品可移动范围：X：40 mm Y：35 mm
最大样品尺寸：80 mm（直径） 50 mm（厚度）
电子枪：预对中钨灯丝电子枪
检测器：背散射电子：高感度4分割 背散电子检测器
二次电子：高感度低真空 二次电子检测器
马达台：自动马达台
排气系统（真空泵）：涡轮分子泵：67 L/s 1台；隔膜泵：20 L/min

主要功能及特色

观察各种材料的微观结构并对样品进行纳米尺度的微区分析，如：形貌观察（SEM），X射线能谱分析（EDX），元素面扫描分析（Mapping）等

主要附件及配置

能谱仪、电脑