主要规格及技术指标

1. 分辨率：点分辨率 0.24 nm；线分辨率 0.102 nm；信息分辨率 0.19 nm。
2. 加速电压20-200 kV
3. Schottky热场发射电子枪晶格分辨率 0.10 nm，
4. 最小束斑尺寸≤0.3nm
5. 最大倾转角 ± 40°　
6. 最小能量分散 200kv下0.7eV或更低
7. HRTEM分辨率 0.19nm
8. X射线能谱分辨率 127eV　 分辨范围 Be - U
9. 三维重构 3D -70 o ---70 o
10. CCD相机 4K×2.7K

主要功能及特色

1. 形貌观察（TEM）
2. 高分辨（HRTEM）
3. 选区电子衍射（SAED）
4. X射线能谱分析（EDX）
5. 原子序数Z-衬度成像（STEM），
6. 点、线、面扫分析 （Mapping）
7. 三维重构

主要附件及配置

HAADF STEM; EDS