仪器分类
卷绕式电子束蒸发(EBPVD)镀膜试验机
卷绕式电子束蒸发(EBPVD)镀膜试验机
仪器编号
规格
该设备为非标真空镀膜设备,设备主体包括卷绕式电子束蒸发镀膜试验机及配套真空设备和冷水机组等,设备具备双向走卷能力,配置电子枪镀膜系统,镀膜幅宽300mm,极限真空≤5.0×10-4Pa,镀膜均匀性:≤±2%。
生产厂家
广东腾盛真空技术工程有限公司
型号
TS-300JRS
制造国家
中国
分类号
放置地点
Array中国乐凯集团有限公司研究院楼实验线七室
出厂日期
2015-12-15
购置日期
2015-12-15
入网日期
2025-04-18

主要规格及技术指标

该设备为非标真空镀膜设备,设备主体包括卷绕式电子束蒸发镀膜试验机及配套真空设备和冷水机组等,设备具备双向走卷能力,配置电子枪镀膜系统,镀膜幅宽300mm,极限真空≤5.0×10-4Pa,镀膜均匀性:≤±2%。

主要功能及特色

该设备为卷绕式高真空镀膜设备,主要用于在幅宽为300 mm的柔性材料上,利用电子束蒸发方式镀膜。

主要附件及配置

设备主要由真空机械系统、真空抽气系统、驱动动力车系统、基材卷绕系统,电子束蒸发系统、水冷却系统、气动控制系统、电气控制系统,室内照明系统、收放卷监视系统、镀膜操作电脑编程系统等组成。

公告名称 公告内容 发布日期