主要规格及技术指标

等离子密度10^9-10^12 cm^-3，可用气体Ar、N2、O2、H2、N2O、SiH4、CO2，最大样品尺寸10x10 cm^2

主要功能及特色

设备集成了无电极电容耦合等离子体（CCEP）/电感耦合等离子体（ICP）双模式等离子体源和射频磁控溅射源，可以进行薄膜的等离子体辅助物理气相沉积和材料的等离子体表面处理

主要附件及配置

无