主要规格及技术指标

铂金
靶材直径：通常 φ50–100 mm。
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溅射电流/电压：
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电流范围：0–100 mA。
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电压范围：0–2.5 kV（直流或射频溅射可选）。
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真空系统：
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基础真空：≤5×10⁻³ Pa（机械泵）。
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工作真空：2.0 Pa。

主要功能及特色

对样本表面进行喷金，主要用于扫描电子显微镜样本前处理。

主要附件及配置

该设备为扫描电子显微镜的附属设备，无单独报价。