主要规格及技术指标

分析室极限真空5*10e-10mbar，能量扫描范围0~5000eV，能量分辨率0.45eV，独立的分析室和进样室

主要功能及特色

电子材料与元器件的表面分析，包括XPS\UPS\ISS\REELS\深度剖析等，可提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、化学键方面的信息。

主要附件及配置

UPS不间断电源、循环冷水机、电脑